标准号：GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

中文标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

英文标准名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances

标准状态：即将实施

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中国标准分类号（CCS）L55

国际标准分类号（ICS）31.200

发布日期2017-07-12

实施日期 2018-02-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：