标准号：GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法

中文标准名称：硅片直径测量方法

英文标准名称：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

标准状态：现行

在线预览

中国标准分类号（CCS）H82

国际标准分类号（ICS）29.045

发布日期2009-10-30

实施日期 2010-06-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2010-06-01实施,代替GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993